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Microsystem Technology and Microrobotics Sergej Fatikow Softcover reprint of the original 1st ed. 1997 edition
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Microsystem Technology and Microrobotics
Sergej Fatikow
Microsystem technology (MST) integrates very small (up to a few nanometers) mechanical, electronic, optical, and other components on a substrate to construct functional devices.
408 pages, biography
| Media | Books Paperback Book (Book with soft cover and glued back) |
| Released | December 3, 2010 |
| ISBN13 | 9783642082320 |
| Publishers | Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm |
| Pages | 408 |
| Dimensions | 155 × 235 × 21 mm · 589 g |
| Language | English |
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